MTOET MT-S1000自動光能清洗設備(MT-S1000 Auto Light Cleaning Equipment)
整體依照SEMI S2半導體安全設備規範所製作,
- 主要配置高功率水冷光能清洗主機,最大輸出功率可達1000瓦,24/7穩定清洗品質,並搭載光學輸出系統。
- 內部搭載FANUC機械手臂,先進的伺服控制提升作業時的穩定性。
- 設備為腔體式設計讓製程期間內部保持負壓環境,設有抽氣檢驗開關。
- 配置工業用高功率集成系統,粉塵回收率高達99.9%。
- 製程區、維修區皆設有安全門鎖及緊急開關。
- 機櫃外方設有24寸觸控面板,設置清洗參數的控制系統,也可隨時監控製程情況。
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除上述以外,MT-S1000自動光能清洗設備更是拿到台灣、美國、日本、中國等四國專利證書『基底材料之表面處理裝置及其表面處理方法』,在全球注重的碳排放議題也拿到『ISO14067產品碳足跡』、『ISO14025產品環境宣告』認證,除了讓製程上達到產能效益提升,也更完整了安全以及全球環保的議題,創造新世代的清潔工業。
『利用業界最新的光能清洗科技,使用最少的耗能,創造最好的效果。』